真空阀门的漏率测试-「亿威仕」

真空阀门的漏率测试：

1、测试方法

采用氦质谱检漏法测量漏率。高真空微调阀、超高真空挡板阀、超高真空插板阀、超高真空蝶阀使用氦罩法测试。

2、测试装置

测试装置如图 1 所示，由氦质谱检漏仪、检漏台及真空辅助系统组成。如有需要，可采用 GB/T 34878 中描述的测量装置。

标引序号说明：

1——氦质谱检漏仪；2——检漏台；3——真空辅助系统（选用）；4——被测阀门。

图 1 漏率测试装置

3、测试步骤

3.1 氦质谱检漏仪灵敏度（q_min）的测试

在测试漏率之前，按图 1 所示，在检漏台接口处连接标准漏孔，测得灵敏度（q_min）。

3.2 阀门总体漏率（Q_m）的测试

3.2.1 将阀门由阀板直接封隔或开启的阀口与检验台接口相对接，阀门的另一法兰口用盲板封隔。

3.2.2 开启阀门的阀板，启动真空系统，待阀体内压力降到 10Pa 时，接通氦质谱检漏仪继续抽空，当测试装置压力降至基础压力或接近基础压力时，关闭真空辅助系统的阀门，记录氦质谱检漏仪输出信号值（U₁）。

3.2.3 使用喷吹法时，用氦气喷枪在阀门待检漏的位置以一定速度喷吹氦气，分别记录下各漏孔的氦质谱检漏仪输出信号值，计算其和 U_n。

3.2.4 使用氦罩法时，使用由密质材料（如塑料薄膜等）制成的钟罩将阀门严密扣封，并向罩内充入氦气，记录氦质谱检漏仪输出的稳定氦信号值，即 U_n。

3.2.5 阀门总体漏率 Q_m 按公式（1）计算：

Q_m=（U_n−U₁）×q_min ················································（1）

式中：

Q_m——漏率，单位为 Pa·m³/s；

U_n——氦质谱检漏仪输出的稳定氦信号值，或各漏孔的氦质谱检漏仪输出信号值之和，单位为 mV；

U₁——氦质谱检漏仪输出信号值，单位为 mV；

q_min——氦质谱漏仪的灵敏度，单位为 Pa·m³/（s·mV）。

3.3 阀门正向漏率（Q_r）的测试

测试步骤如下：

a）将阀门由阀板直接封隔或开启的阀口与检验台接口相对接，阀门的另一法兰口与大气相通；

b）关闭阀门的阀板，启动真空系统，待系统内压力降到 10Pa 时，接通氦质谱检漏仪继续抽空，当测试装置压力降至或接近基础压力时，关闭通向真空系统的阀门，对阀板以下空间进行测试，记录氦质谱检漏仪输出信号值（U₁）；

c）使用喷吹法时，将氦气喷枪深入阀门体内，向阀门表面及密封口周围喷吹氦气，分别记录下各漏孔的氦质谱检漏仪输出信号值，计算其和 U_n；

d）或，使用氦罩法时，使用由密质材料（如塑料薄膜等）制成的钟罩将阀门严密扣封，并向罩内充入氦气，记录氦质谱检漏仪输出的稳定氦信号值，即 U_n；

e）设定 Q_r=Q_m，可按公式（1）计算 Q_r。

3.4 阀门反向漏率（Q_b）的测试

测试步骤如下：

a）关闭阀门的阀板，将阀门的另一法兰口与检验台接口相对接并连通；

b）启动真空系统，按 3.2.2 进行测试，记录氦质谱检漏仪输出信号值（U₁）；

c）使用喷吹法时，用氦气喷枪从外部向阀门阀板表面、密封口周围和阀门外表面喷吹氦气，分别记录下各漏孔的氦质谱检漏仪输出信号值，计算其和 U_n；

d）或，使用氦罩法时，使用由密质材料（如塑料薄膜等）制成的钟罩将阀门严密扣封，并向罩内充入氦气，记录氦质谱检漏仪输出的稳定氦信号值，即 U_n；

e）设定 Q_b=Q_m，可按公式（1）计算 Q_b。

3.5 阀门漏率的具体测试内容

阀门漏率的具体测试内容应符合表 1 的要求。

表 1 阀门漏率测试内容