1、检漏方法汇总
1.1 常用检漏方法
真空设备常用的基础检漏方法有:
a)氦质谱真空法;b)氦质谱正压法;
c)气泡法;
d)压力变化法;
e)卤素内-外式检漏法;
f)超声检漏法。
1.2 其他检漏方法
质谱法、声学法、高压放电法、传感器检漏法、流量计法等其他检漏方法也可用于真空设备。
2、检漏方法的选择
2.1 确定检漏方法选择条件
2.1.1 检漏类型
真空设备检漏方法的类型包括:
a)定性检漏;
b)定量检漏;
c)定位检漏。
2.1.2 主要技术条件
真空设备检漏方法选择的主要技术条件包括:
a)真空设备的允许漏率;
b)真空设备的承压特性。
2.1.3 检漏实施条件
真空设备检漏方法选择的主要实施条件包括:
a)检漏实施的影响;
b)是否具备检测仪器;
c)是否具备示踪介质;
d)真空设备外形和密封结构;
e)示踪介质与真空设备材料的相容性;
f)检漏方法要求的工艺措施与真空设备工艺的匹配性;
g)检漏所处阶段。
2.2 初步选择检漏方法
2.2.1 与检漏类型相关的选择
与检漏类型相关的选择,应遵循:
a)需要测量真空设备的漏孔、局部或总体漏率时,选择定量检漏的方法;
b)基于比对原理的定量检漏方法,应包含必要的检漏系统校准程序;
c)当真空设备漏率不满足密封性能要求、存在不可接受漏孔且有修复需求时选择定位检漏方法;
d)一般情况下,定位检漏方法、定量检漏方法可用作定性检漏,定位检漏方法不能直接用于定量检漏,用于局部区域的定量检漏方法可用作定位检漏。
2.2.2 与主要技术条件相关的选择
与主要技术条件相关的选择,应遵循:
a)所选检漏方法的有效最小可检漏率不应大于允许漏率的 1/10;
b)所施加的检漏压力不应大于真空设备的工作压力;
c)所施加的检漏压力的方向、大小应与真空设备在工作条件下的压力状态一致。
2.2.3 与检漏实施条件相关的选择
与检漏实施条件相关的选择,应遵循:
a)检漏方法实施后不应给真空设备、检测仪器、实施人员带来不可接受影响;
b)在选择检测仪器时,应优先考虑利用真空设备本身或现场可用于检漏的检测仪器进行检漏;
c)在选择示踪介质时,应优先考虑利用真空设备工作介质或预置的可用于检漏的示踪介质进行检漏,其次考虑检漏方法本身使用的示踪介质进行检漏;
d)检漏方法应满足真空设备的外形结构、密封结构对检漏实施的要求,便于实施检漏;
e)检漏方法所采用的示踪介质应与被检真空设备相容,不与其材料发生反应;
f)检漏方法表面处理的工艺应与被检真空设备的要求相匹配;
g)在真空设备生产阶段,可适当提高密封性能要求,减小组件的允许漏率。
2.3 确定检漏方法
从安全因素、环境因素和经济因素等方面,对初步选择的检漏方法进行综合评价,优先选择安全风险小、环境污染小、经济的检漏方法。