检测工件的密封性，通常是采用压力传感器直接测量密闭压力的变化，这种方式简单但是比较粗糙，适合检测压降较大的工件。本文介绍一种适合工件微露的高精度检测方式。

差压法的工作原理如上图所示，被测容器通过差压传感器与标准容器相连组成一个比较系统。

检测时，经历3个阶段，加压-保压-泄压；首先通电打开充气阀S0、电磁阀S1、S2，接着往标准容器和被测容器内同时充气，达到测量压力后，关闭充气阀；经过一段稳定时间后，当差压传感器两侧压力、温度相等时，断电关闭电磁阀S1、S2，进入测量（保压检测）阶段；在检测过程中，如果被测容器有泄漏便会引起被测容器内气压下降，差压传感器将偏离零点，经过一段时间t后，读出差压传感器的值，由此计算它的泄漏率；检测完毕后，断电泄放阀S0、电磁阀S1、S2进行排气泄压。

泄漏理论计算：如工件和标准容器的容积为1L，保压1min后，理论压差检测的分辨率为1Pa，则认为工件压降的分辨率为1Pa（0.00001bar），泄漏气体体积的分辨率为1×0.00001=0.00001L（标态体积），泄漏率为0.00001L/min。

按照氨气密度0.771g/L,则可检测到气体泄漏率的分辨率为0.00000771g/min（即0.00771mg/min）。

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